该套件包含如下内容
1. 完整的14nm工艺线虚拟制造设备操作：氧化炉、CVD设备、PVD设备、刻蚀机、离子注入机、退火设备、外延设备。
2. 完整的14nm工艺线虚拟制造步骤及晶圆微观结构、参数特性、电学特性等：氧化、淀积、光刻、刻蚀、离子注入、扩散、退火、外延。
3. 完成的14nm工艺线典型器件制造步骤及器件微观结构、参数特性、电学特性等：14nm FinFET；GaAs；LDMOS；MOSFET；BJT；DIODE；RESISTOR。
4. 完善的工业级集成电路版图设计，包含基本器件单元和电路的版图设计及GDSⅡ文件的导入和导出。
5. 7nm微纳电子教学套件衔接，实现从工艺制造到器件测试完整过程。

14nm集成电路工艺教学套件技术资料